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わずか4枚のミラーで構成 EUV露光技術を開発

わずか4枚のミラーで構成 EUV露光技術を開発

沖縄科学技術大学院大学が、EUV露光装置のミラーを10枚から4枚にへらし、消費電力を大幅に削減できる技術を開発したとのこと。

わずか4枚のミラーで構成 EUV露光技術を開発
https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2407/31/news059.html

2枚のウエハーを高精度に貼り合わせて高密度化
https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2407/30/news001.html

人機一体が歩行可能な人型重機をデモ、マクロス河森監督との共同開発も開始!
https://news.mynavi.jp/techplus/article/20240805-2998980/

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